LSIの最新の前工程の信頼性技術・データ

半導体の基礎信頼性理論・high-kを含むトランジスタ系の信頼性技術・配線の信頼性・静電気破壊・故障解析・外挿による寿命推定法について、
コンパクトだが詳細に記述されている。
日本が誇る半導体技術力に出会えることができる。
ただ、
カーケンダルボイド、
デンドライトといった後工程の信頼性技術の記述も欲しかった。
それで、
星４つとした。