LSIの信頼性 (信頼性技術叢書) の感想

半導体の基礎信頼性理論・high-kを含むトランジスタ系の信頼性技術・配線の信頼性・静電気破壊・故障解析・外挿による寿命推定法について、コンパクトだが詳細に記述されている。日本が誇る半導体技術力に出会えることができる。ただ、カーケンダルボイド、デンドライトといった後工程の信頼性技術の記述も欲しかった。それで、星４つとした。