まともに読むと退屈。ある程度の知識がある人向け

　５章構成。
二人の著者で前半と後半を担当している。
どちらかといえば後半がやや読みにくい。
半導体（ＬＳＩ）の製造プロセスを第１章で概観し、
第２章以降から順次詳説する、
という構成はわかりやすくて好感が持てる。
ただ、
第１章は、
概観にしては立ち入りすぎではないかとも思う。

　ウェハーからはじまって、
ＬＳＩができあがるまでの工程を時系列的に説明するので、
ちょっと退屈でもある。
あーなって、
こーなって、
どーなって・・・という平面的な話がずっと続く。
ある程度、
知識があれば、
サクサク読めると思うが、
入門・再入門を目的とする読者には辛いかも。
リファレンス本としてはいいかもしれない。