図解でわかる 半導体製造装置 の感想

　５章構成。二人の著者で前半と後半を担当している。どちらかといえば後半がやや読みにくい。半導体（ＬＳＩ）の製造プロセスを第１章で概観し、第２章以降から順次詳説する、という構成はわかりやすくて好感が持てる。ただ、第１章は、概観にしては立ち入りすぎではないかとも思う。
　ウェハーからはじまって、ＬＳＩができあがるまでの工程を時系列的に説明するので、ちょっと退屈でもある。あーなって、こーなって、どーなって・・・という平面的な話がずっと続く。ある程度、知識があれば、サクサク読めると思うが、入門・再入門を目的とする読者には辛いかも。リファレンス本としてはいいかもしれない。