半導体ドライエッチング技術 (集積回路プロセス技術シリーズ) の感想

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参照データ

タイトル	半導体ドライエッチング技術 (集積回路プロセス技術シリーズ)
発売日	販売日未定
製作者	徳山巍
販売元	産業図書
JANｺｰﾄﾞ	9784782856284
カテゴリ	科学・テクノロジー » 工学 » 電気工学 » 集積回路・IC

エッチングのコンピュータシミュレーションの仕事をやりかけていた際に、購入しました。やや古いですが、エッチングの基礎を理解するには役に立つと思います。