VLSI工学―製造プロセス編 (電子情報通信レクチャーシリーズ) の感想

半導体製造プロセスの概略把握には最適な書籍だと思います。
データやグラフも多く、非常にわかりやすいです。
また、参考文献の記載が多いのもすばらしいです。

半導体製造プロセスに関する書籍は少ないので、貴重な存在だとおもいます。

あえて述べるなら、半導体プロセスに関して筆者の豊富な知識と経験をもう少し盛り込んで、
重厚な書籍の執筆をお願いしたいです。