はじめての半導体製造装置 (現場の即戦力) の感想

半導体製造装置の歴史を簡単におさらいし、いろんな種類の装置について浅く広く紹介されている。
各装置の説明は辞書に毛が生えた程度の簡単なものだが、詳しく調べる前段階で役に立つのではないかなぁと、買った当時は思っていた。しかし、だいぶ前に買って、ほとんど使っていない。
そんなに高価な本ではないので仕方がないけど、専門の人は、もう少しお金を出してそこそこ立派な辞書を買った方が実用的だと思います。